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精密勻膠機(jī)

儀器型號(hào)：美國(guó)Smart Coater 100

購(gòu)置年月：2012年6月

儀器簡(jiǎn)介：

SmartCoater？精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的晶圓底物旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復(fù)性。

應(yīng)用范圍：

   廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)，MEMS生產(chǎn)，薄膜技術(shù)，傳感器以及高級(jí)封裝技術(shù)之中。

技術(shù)參數(shù)：

1. 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

2. 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒

3. 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm(可選更高速)

4. 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

5. 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1%

6. 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性<1rpm

7. 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

10. 設(shè)備尺寸32cm W×44cm D×30cm H