科研進(jìn)展
重慶研究院在高性能太赫茲偏振器件研究方面取得進(jìn)展
時(shí)間：2016-05-23編輯：智能所太赫茲技術(shù)研究中心
近日，中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院太赫茲技術(shù)研究中心研究團(tuán)隊(duì)在高性能太赫茲偏振器件研究方面取得進(jìn)展，相關(guān)研究成果以" A Terahertz Polarizer Based on Multilayer Metal grating filled in Polyimide Film "為題在《IEEE Photonics Journal》期刊上發(fā)表?！ ?/span>
太赫茲是介于微波和紅外光波之間的電磁波，因其技術(shù)起步較晚，滿足實(shí)用的太赫茲功能器件缺乏，相關(guān)研究成為了目前學(xué)術(shù)界的熱點(diǎn)問(wèn)題。研究團(tuán)隊(duì)以典型的太赫茲偏振片為研究對(duì)象，提出了一種基于多層亞波長(zhǎng)金屬光柵結(jié)構(gòu)的以聚酰亞胺薄膜為襯底的太赫茲偏振器件，利用多層亞波長(zhǎng)金屬光柵的耦合作用使太赫茲偏振片具有較高的偏振消光比，以及自主研發(fā)的聚酰亞胺薄膜對(duì)太赫茲的低反射、低吸收特性使器件具有較低的傳輸損耗，有效解決了太赫茲偏振器件偏振消光比與傳輸損耗難兼得的矛盾。同時(shí)，由于團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的聚酰亞胺材料具有良好的旋涂性，該器件在制作方法上，也與經(jīng)典的半導(dǎo)體光刻工藝完全兼容，因此采用硬質(zhì)硅片為支撐，以光刻為手段層層疊加，最后將所制備結(jié)構(gòu)從硅片上剝離，即實(shí)現(xiàn)了以聚酰亞胺薄膜為襯底的多層亞波長(zhǎng)金屬光柵結(jié)構(gòu)的制備，所制備太赫茲偏振器件的最大偏振消光比超過(guò)70dB，在0.1-2THz波段范圍內(nèi)平均透過(guò)率超過(guò)80%。
目前，該研究由于采用成熟的光刻工藝，以平整硬質(zhì)硅片為支撐，易于獲得大面積結(jié)構(gòu)均一、性能穩(wěn)定的太赫茲偏振器件。同時(shí)，所建立的工藝可拓展至其他太赫茲器件，為實(shí)用化太赫茲器件的研發(fā)提供了一種新的實(shí)現(xiàn)方法。（夏良平供稿）
文章鏈接：http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=7362098
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