通知公告
2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎申報公示
時間：2025-02-13編輯：
依據(jù)《重慶市科學(xué)技術(shù)獎勵辦法》以及《關(guān)于2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎提名工作的通知》相關(guān)文件的要求，對2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎申報項目進行公示，公示時間2025年2月13日至2025年2月17日。
一、項目名稱
高精度智能壓力變送器及其核心敏感MEMS元件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
二、主要完成人
喻立川、田英明、張小平、向澤藍、王春喜、趙劍明、陸文強、艾軍、高曉紅、呂鵬勃、何志強、喻麗、王方
三、主要完成單位及提名等級
1.重慶川儀自動股份有限公司
2.重慶四聯(lián)測控技術(shù)有限公司
3.重慶金芯麥斯傳感器技術(shù)有限公司
4.中國科學(xué)院沈陽自動化研究所
5.機械工業(yè)儀器儀表綜合技術(shù)經(jīng)濟研究所
6.中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院
擬提名重慶市科技進步獎一等獎
提名專家：譚久彬（中國工程院院士、哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所教授、?精密儀器技術(shù)與工程專業(yè)）
四、項目簡介
壓力傳感器應(yīng)用量大、面廣、價值量高，而我國核心敏感元件高端MEMS硅基壓力傳感器芯片完全依賴進口，嚴重制約著我國高端智能裝備安全自主可控發(fā)展，亟待解決。為解決此嚴重“卡脖子”問題，本項目開展了自主知識產(chǎn)權(quán)的高端MEMS敏感元件研制，依托此核心部件研發(fā)了高端智能壓力/差壓變送器產(chǎn)品，并建成了2個產(chǎn)業(yè)基地。
采用多物理場耦合有限元仿真分析方法，建立傳感器芯片多層復(fù)合薄膜應(yīng)力模型，圍繞硅基的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計、傳感器基座結(jié)構(gòu)設(shè)計、硅基力敏電阻表面鈍化層的多種膜層材料設(shè)計與微納制備工藝、基于步進式刻蝕提升各向異性腐蝕均勻性的背腔加工工藝、低孔隙率高強度硅-玻璃陽極鍵合工藝等方面進行創(chuàng)新研發(fā)，成功研制出基于高穩(wěn)MEMS壓力敏感元件的壓力傳感器，填補國內(nèi)高精度傳感器空白。
依托自主MEMS敏感元件，突破傳壓元件彈性響應(yīng)、低功耗高精度信號調(diào)理、高溫環(huán)境壓力測量的傳壓結(jié)構(gòu)、導(dǎo)壓管堵塞檢測、多參數(shù)融合高精度補償校準等設(shè)計技術(shù)，攻克超薄膜片精密成型及均熱焊接、傳壓介質(zhì)高真空微量充灌、低壓損壓力傳導(dǎo)等關(guān)鍵工藝及實現(xiàn)多批量、多品種、自適應(yīng)裝夾、參數(shù)自配置的智能制造技術(shù)，開發(fā)出進入世界第一梯隊的高端智能壓力變送器產(chǎn)品，達到國際先進水平，核心關(guān)鍵技術(shù)指標達到國際領(lǐng)先水平。
本項目研發(fā)的高穩(wěn)MEMS敏感元件及高端智能壓力/差壓變送器，整體成果達到了國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進的水平，打破了美國Emerson、日本Yokogawa等世界 500強公司對國內(nèi)高端智能壓力變送器產(chǎn)品的技術(shù)封鎖，在實現(xiàn)核電、石油、化工、電力、冶金、建材等典型行業(yè)形成示范應(yīng)用。項目共形成知識產(chǎn)權(quán)48項，其中授權(quán)發(fā)明專利14項。實現(xiàn)高穩(wěn)MEMS敏感元件20萬件臺/年的產(chǎn)能，在流程工業(yè)壓力測量傳感芯片市場占有率超過40%。實現(xiàn)壓力變送器30萬臺/年的產(chǎn)能，近3年銷售收入達16.76億元，在中高端壓力變送器領(lǐng)域市場占有率達12.9%，國產(chǎn)品牌排名第一。
五、主要知識產(chǎn)權(quán)目錄
主要知識產(chǎn)權(quán)證明目錄（不超過10件）
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知識產(chǎn)權(quán)類別 |
具體名稱 |
國家 |
授權(quán)號 |
授權(quán)日期 |
證書編號 |
權(quán)利人 |
發(fā)明人 |
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發(fā)明專利 |
壓力/差壓型傳感器溫壓補償方法 |
中國 |
ZL201510278390.3 |
2017-12-29 |
2755920 |
重慶川儀自動化股份有限公司 |
張宇、胡珺珺、田英明、趙俊奎、何艷、艾軍 |
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發(fā)明專利 |
應(yīng)用于智能變送器上的溫壓補償線性修正方法 |
中國 |
ZL201510277687.8 |
2017-12-26 |
2755813 |
重慶川儀自動化股份有限公司 |
張宇、田英明、胡珺珺、艾軍、何艷 |
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發(fā)明專利 |
一種壓力變送器的強制報警電流輸出系統(tǒng)和方法 |
中國 |
ZL202110198211.0 |
2024-01-12 |
6615830 |
重慶四聯(lián)測控技術(shù)有限公司 |
高曉紅、喻立川 |
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發(fā)明專利 |
智能變送器的控制器故障檢測系統(tǒng) |
中國 |
ZL201410850580.3 |
2017-09-29 |
2624311 |
重慶四聯(lián)測控技術(shù)有限公司、重慶川儀自動化股份有限公司 |
艾軍、趙俊奎、張宇 |
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發(fā)明專利 |
基于PCI總線的矩陣電路在溫壓補償系統(tǒng)中的控制方法 |
中國 |
ZL201510046730.X |
2017-02-01 |
2368850 |
重慶川儀自動化股份有限公司 |
田英明、張宇、胡珺珺、趙俊奎、艾軍 |
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發(fā)明專利 |
基于數(shù)據(jù)庫文件標定變送器的溫壓補償方法及系統(tǒng) |
中國 |
ZL201611096761.7 |
2019-08-09 |
3487104 |
重慶川儀自動化股份有限公司 |
田英明 |
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發(fā)明專利 |
基于單根控制線NRZ電流編碼電路 |
中國 |
ZL201810867600.6 |
2021-05-28 |
4450626 |
重慶川儀自動化股份有限公司 |
田英明 |
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發(fā)明專利 |
一種生長混合相鋅鎂氧三元氧化物納米線網(wǎng)的方法 |
中國 |
ZL201811445601.8 |
2021-7-20 |
4559789 |
中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院 |
陸文強、 馬賽 |
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發(fā)明專利 |
一種制備氧化鋅微米管的方法 |
中國 |
ZL201510493163.2 |
2020-03-31 |
3735075 |
中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院? |
王亮、陸文強、馮雙龍、李昕、李振湖、石彪 |
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發(fā)明專利 |
一種基于屬性證書的工控系統(tǒng)訪問控制方法 |
中國 |
ZL202011529272.2 |
2023-03-24 |
5816579 |
中國科學(xué)院沈陽自動化研究所 |
劉賢達、蔣一恒、趙劍明、陳春雨、王天宇、張博文 |
本材料公示期內(nèi)（2025年2月13日至2025年2月17日），任何單位或個人對公示項目的創(chuàng)造性、先進性、適用性及推薦材料的真實性和項目主要完成單位持有異議的，可以書面形式向科技處提出，并提供必要的證明材料。為便于核實查證，確保實事求是、客觀公正地處理異議，提出異議的單位或者個人應(yīng)當表明真實身份，并提供聯(lián)系方式。凡匿名異議和超出期限的異議，不予受理。
特此公示。
聯(lián)系單位：中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院科技處
通訊地址：重慶市北碚區(qū)方正大道266號
聯(lián)系電話：023-65935678
聯(lián) 系 人：孫萌
???????????????????????????????????????????????????中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院科技處
???????????????????????????????????????????????????????????????2025年2月13日
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